




特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻,特種氣體廠,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節(jié)省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器,電子特種氣體,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現(xiàn)自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,北京特種氣體,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。

特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體:氦氣
氦氣在高真空裝置、核反應堆、宇宙飛船中用作檢漏劑和掃氣。氦氣密度比空氣小很多,常被充入氣球和飛艇,帶人們在空中飛翔。氦氣化學性質(zhì)不活潑,特種氣體生產(chǎn)廠家,使氦氣熱氣球和飛艇比氫氣熱氣球和飛艇更為安全。
氦氣難溶于水,可以與氧氣混合制成“人造空氣”。空氣中的氮氣在高壓環(huán)境下會溶解在血液中,當潛水員上浮的時候壓力減小,血中的氮氣便紛紛逸出,形成氣泡堵塞血管,使?jié)撍畣T患上極為難受的“減壓癥”。


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